等離子體是一種相對較新的表面處理技術(shù)，始于二十世紀(jì)六十年代。等離子體具有高電荷的粒子(電子，離子和中性原子)以激發(fā)，電離或破壞反應(yīng)物分子，從而產(chǎn)生一系列蝕刻，聚合，交聯(lián)以及其他復(fù)雜的物理化學(xué)作用。等離子體處理深度只有非常薄的表面層，通常為幾納米到幾百納米，卻能夠顯著改變界面特性，而不會對基材產(chǎn)生太大影響，因此被廣泛用于改性聚合物的表面性能。

低溫等離子體內(nèi)部富含有電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子，其中高速運動的電子與反應(yīng)腔中的氣體分子、原子發(fā)生碰撞，將能量傳遞給這些分子和原子，當(dāng)能量足夠大時，可激發(fā)產(chǎn)生新的離子、電子、亞穩(wěn)態(tài)粒子或生成自由基產(chǎn)生各種不同活性物種，與材料表面發(fā)生反應(yīng)或者材料表面打開的官能團(tuán)本身相互反應(yīng)，從而影響材料表面性能。

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